Dans la fabrication de semi-conducteurs, même des particules, des gels, des ions métalliques ou des contaminants organiques extrêmement petits peuvent affecter le rendement des plaquettes et la stabilité du processus. Par conséquent, la filtration n’est pas seulement un simple processus de séparation, mais également un élément important du contrôle de la contamination dans les environnements de production de haute pureté.
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Pullner propose des cartouches filtrantes à semi-conducteurs conçues pour des applications exigeantes telles que les produits chimiques de traitement par voie humide, les photorésists, les révélateurs, les solvants, les boues CMP, l'eau ultrapure et la filtration de gaz de haute pureté. Ces filtres aident les clients à améliorer la propreté des processus, à protéger les équipements en aval et à maintenir des performances de production stables.
Une cartouche filtrante semi-conductrice typique est composée de plusieurs éléments clés, notamment :
La membrane est la couche de filtration la plus importante, chargée d'éliminer les particules et les contaminants du liquide ou du gaz. Les matériaux de membrane courants comprennent :
chacun adapté à différentes conditions chimiques. Par exemple, le PTFE et le PFA sont souvent utilisés pour les produits chimiques et les solvants agressifs, tandis que l'UPE est largement utilisé dans la filtration chimique de haute pureté en raison de son faible taux d'extractibles et de son excellente propreté.
Les couches de support et de drainage aident à maintenir un débit stable et à réduire les chutes de pression pendant le fonctionnement. Le noyau interne et la cage externe offrent une résistance mécanique, permettant à la cartouche filtrante de fonctionner de manière fiable dans des conditions de pression et de débit spécifiques. Les embouts et la conception du joint garantissent une installation correcte et aident à prévenir les fuites de dérivation, ce qui est particulièrement important dans les processus de semi-conducteurs de haute pureté.
Les principaux objectifs de filtration des cartouches filtrantes à semi-conducteurs comprennent :
Dans le procédé humide et la filtration chimique électronique, les filtres sont utilisés pour éliminer les fines particules susceptibles de provoquer des défauts sur les surfaces des plaquettes. Dans les systèmes d’eau ultra pure, les filtres aident à maintenir la propreté de l’eau et à protéger les équipements de traitement sensibles. Dans la filtration des gaz, des filtres à haute efficacité sont utilisés pour contrôler les particules en suspension dans l’air et garantir une distribution de gaz propre.
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Par rapport aux filtres industriels ordinaires, les filtres de qualité semi-conducteur nécessitent une propreté plus élevée, une meilleure compatibilité chimique, un risque de contamination plus faible et une cohérence de lot plus stable. Pullner se concentre sur la sélection des matériaux, la conception structurelle, la production propre et le contrôle qualité pour fournir des solutions de filtration fiables pour les applications de haute pureté.
Pour les clients recherchant des alternatives aux marques de filtres internationales, Pullner peut prendre en charge la sélection basée sur les numéros de pièces, les dessins techniques, les échantillons ou les conditions de travail réelles. Nous pouvons vous aider avec la confirmation des dimensions, la correspondance des matériaux, les tests d'échantillons et l'approvisionnement en gros après qualification.
Que votre application concerne la filtration chimique de haute pureté, le traitement de l'eau ultrapure, la filtration de boues CMP ou la filtration de gaz, Pullner est prêt à fournir des solutions de filtration à semi-conducteurs professionnelles, rentables et personnalisées.
Pour plus d'informations sur les cartouches filtrantes semi-conductrices Pullner, veuillez visiterwww.pullnerfilter.comou contactez-nous pour une assistance technique et une sélection de produits.
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